東京大学生産技術研究所 町田研究室

“積層ヘテロ構造のドライ転写とロボット作製”

増渕覚, 町田友樹
「グラフェンから広がる二次元物質の新技術と応用~世界の動向、CVD合成、転写積層、量子物性、センサ・デバイス、THz応用~」, 第4章 第1節, NTS出版 (2020).