原子間力顕微鏡(AFM)

（SIIナノテクノロジー社製SPM400）
曲率半径20 nm程度の探針と物質表面の間の相互作用を利用して、量子ドットやグラフェンの表面形状をナノメートルのスケールで測定することができる装置です。また探 針と試料の間に電圧（0～100 V）を印加することにより、試料の微細加工も行っています。クリーンブースと湿度調節器を装備しているため、湿度制御下でのAFM測定、AFMリソグラ フィーが可能です。