研究設備


         
   Dilution1 Dilution2  

9T-19T-29T-39T-3
  希釈冷凍機と超電導磁石
(それぞれCryoconceptおよび Cryomagnetics社製)
3He-4He混合ガスを利用することにより試料を10 mKの極低温下に冷却する装置です。超伝導磁石と組み合わせて強磁場下における試料の電気伝導特性測定が可能です。
 1号機  ベース温度 10.3 mK
      クーリングパワー:100 μW@100 mK
 2号機  ベース温度 11 mK
      クーリングパワー:100 μW@100 mK 
 超電導磁石  1号機(最大磁場9テスラ)、2号機(9テスラ)、3号機(9テスラ+7テスラ)、4号機(15テスラ!)
 
         
   VTI      
  温度可変インサート
減圧ヘリウムガスを利用することにより1.5〜420 Kの間の温度で試料の電気伝導特性を測定することができます。
  電気伝導測定系I
核磁気共鳴用RF磁場発生の機能を持つ電気伝導測定装置で す。 
 
         
         
  電気伝導測定系II
低ノイズ電気伝導測定用セットアップです。
  電気伝導測定系III
液体Heタンクと組み合わせて、室温〜4 Kでの伝導測定が可能です。300 kHz〜1.5 GHzのネットワークアナライザーと組み合わせる事により、デバイスの高周波特性の測定も可能です。
 
         
         
  電子線描画装置
(エリオニクス社製)
加速電圧50 kV電子線を走査してレジストを描画する事により、微細構造の作製が可能です。最小で幅約20 nm程度の細線を作製できます。
  原子間力顕微鏡(AFM)
(SIIナノテクノロジー社製SPM400)
曲率半径20 nm程度の探針と物質表面の間の相互作用を利用して、量子ドットやグラフェンの表面形状をナノメートルのスケールで測定することができる装置です。また探 針と試料の間に電圧(0〜100 V)を印加することにより、試料の微細加工も行っています。クリーンブースと湿度調節器を装備しているため、湿度制御下でのAFM測定、AFMリソグラ フィーが可能です。 
 
         
         
  プロープステーション
(共和理研社製K-157MP)
試料の抵抗、電流-電圧特性等を測ることができる装置です。30 μm程度の細い探針を用いているので小さい試料でも容易に電気伝導測定ができます。
  光学顕微鏡
(キーエンス社製デジタルマイクロスコープVHX500)
高分解能のデジタル光学顕微鏡です。作製したデバイスやグラフェンの画像データの加工、および保存ができます。
 
         
         
  ワイヤーボンダー
(WestBond社製)
試料の電気伝導特性を測定するために電極を取り付ける装置です。
  酸化物ナノ細線作製装置
(アサヒ理化製作所製)
アルゴン雰囲気下及び真空中で1200 ℃まで試料を加熱する事が可能な管状炉です。酸化物のナノ細線の作製および、試料の高温アニールに使用しています。
 
         
         

高周波プ ローブステーション
(VICインターナショナル社製)
DC〜18 GHzまでの高周波電気伝導測定ができます。真空チャンバーを用いているため、真空及びガス雰囲気中にて室温から高温までの測定をおこなうことが可能で す。



EB蒸着機
(AVC社製)
電子線を照射することにより材料を蒸発させ、基板に堆積する装置です。伝導測定のための電極作製に活用しています。

         

Anneal
Laser

アニール炉
(As-one社製)
アルゴン・水素混合ガス中で最高1000度までの高温で
試料をアニールできます。

CO2レー ザー
光ファイバーを用いて波長10.7ミクロンのレーザーを低温で試料に照射す ることができます。


     




ラマン分光 顕微鏡
(ラムダビジョン社製)
光学顕微鏡と組み合わせたらマン分光装置です。小さい試料でも光学顕微鏡で見ながらラマン分光測定をすることができます。

学生居室
実験データの整理やその検討、さらに研究テーマに関する議論を行う場所とし て学生居室は大変重要な場所です。
町田研究室では一人一人に十分なスペースが行き渡るようにしています。